Engineering Ceramic Co., (EC © ™) Rapport:
EC Vakuummaterial - teknisk översikt
EG är specialiserat på högpresterande vakuummaterial med:
✔ Keramisk isolatorer(Al₂o₃/aln) för ultrahög spänningsisolering
✔ Vakuumlödningsteknik (läckhastighet <10⁻⁹ mbar · l/s)
✔ Hermetisk tätning för turbomolekylära/jonpumpar (UHV/XHV -kompatibel)
✔ Anpassade konfigurationer för halvledare, flyg- och forskningsapplikationer
Tabell 1: Klassificering efter arbetsprincipen
Tabell 2: Klassificering efter vakuumnivå
Kriterier
1.LUTIMAT VACUUM NIVÅ
Den nödvändiga vakuumnivån bör anpassa sig till processpecifikationer. Till exempel:HalvledarstillverkningVanligtvis kräver vakuumnivåer under 10⁻⁶ PA industriella processer kan fungera effektivt i 10⁻ till 10² PA -intervallet
2. Pumping hastighet
Uppmättliter per sekund(L/s) ellerkubikmeter per timme(m³/h) måste vara dimensionerad på lämpligt sätt för kammarvolymen och gasbelastning med hög genomströmning (t.ex. vakuumugnar) kan kräva 1 000+ m³/h
3. Gas & kemisk kompatibilitet
● Standardapplikationer:Standardmaterial (rostfritt stål, aluminium)
● Frätande miljöer:Kräver specialiserade material som:
● PTFE-belagda komponenter (för syremotstånd)
● Hastelloy eller nickellegeringar (för aggressiva kemister som klor)
4.energi Effektivitet och underhåll
Oljeförseglade pumpar:
● Lägre initialkostnad
● Kräver regelbundna oljeförändringar (var 2 000–4 000 timmar)
● Risk för oljeföroreningar i känsliga processer
Torra (oljefria) pumpar:
● Högre initialinvestering
● Underhållsfri drift (inga oljeförändringar)
● Föredraget för rena processer (t.ex. läkemedel, mat)
Uttalande: Artikeln/nyheterna/videon kommer från internet. Vår webbplats trycker om i syfte att dela. Upphovsrätten till den omtryckta artikeln/nyheterna/videon tillhör den ursprungliga författaren eller det ursprungliga officiella kontot. Om det är någon intrång, vänligen informera oss i tid så kommer vi att verifiera och ta bort det.
