EC Vakuummatning genom - teknisk översikt

Engineering Ceramics Inc. (EC © ™) Rapport:

EcVakuumtillgång- Teknisk sammanfattning

EG är specialiserat på högpresterande vakuummaterial som:

✔ Keramisk isolator för ultrahögspänningsisolering (Al₂o₃/ALN)

✔ Vakuumlödningsteknik (läckhastighet <10⁻⁹ mbar · l/s)

✔ Lufttät tätning för turbomolekylpumpar/jonpumpar (UHV/XHV -kompatibel)

✔ Anpassade konfigurationer för halvledare, flyg- och forskningsapplikationer

Tabell 1: Klassificering baserad på driftsprincipen

slag	Driftsteori	Slutliga vakuum (PA)	Huvudfunktioner	Huvudanvändning
Vantpump	Övergång med en roterande skåpbil	1E-1 ~ 1E2	Oljetätningstyp, underhåll krävs	Foreline/Back Pump
Torrrullpump	Gaskomprimering av omloppspiraler	1E-2 ~ 1E1	Oljefri, låg vibration	Laboratorieutrustning
Rötter	Gastransport med hjälp av mot roterande lober	1E-1 ~ 1E3	Hög genomströmning, ofta mångfaldig	Industriellt vakuumsystem
Oljediffusionspump	Överföring med Steam Jet Momentum	1E-7 ~ 1E-4	Inga rörliga delar, kalla fällor krävs	E-strålavsättning
Turbomolekylpump	Höghastighetsrotor (> 60K rpm) kolliderar med molekyler	1E-9 ~ 1E-6	Renlighet, vibrationskänslig	UHV Science Machine
Kryogen pump	Gaskondensation på <20k ytor	<1E-10	Maximal vakuum och regelbunden regenerering krävs	Rymdmiljönsimulering

Tabell 2: Klassificering efter vakuumnivå

Vakuumområde	Tryck (PA)	Optimal pumptyp	Tekniska överväganden
Grovt vakuum	1E5 ~ 1E2	Rotary Vane, Membran	Högtrycksstöd med gasballast
Lågt vakuum	1E2 ~ 1E-1	Rötter + roterande skovel	Hastighet kontra krafteffektivitet
Högvakuum	1E-1 ~ 1E-7	Diffusion,	Förebyggande av backstream
Ultrahög vakuum (UHV)	1E-7 ~ 1E-10	Jon, kryopump	Materialval är viktigt
Extremt hög vakuum	<1E-10	Hybridjonsystem	Kvantnivåmiljö

Vakuumpumpens urvalsguide

Kriterier

1. Slutlig vakuumnivå

Den nödvändiga vakuumnivån måste uppfylla processspecifikationerna. till exempel:

- Vid halvledartillverkning krävs vanligtvis vakuumnivåer under 10⁻⁶ PA.

- I industriella processer kan det fungera effektivt i intervallet 10⁻ till 10² pa      

2. Pumphastighet

Mätt i liter per sekund (L/s) eller kubikmeter per timme (m³/h)   

Välj rätt storlek för din kammarkapacitet och gasbelastning   

Applikationer med hög kapacitet (t.ex. vakuumugnar) kan kräva 1 000+ m³/h

3. Gas och kemisk kompatibilitet

- Standardanvändning: Standardmaterial (rostfritt stål, aluminium)

- frätande miljö: Specialmaterial krävs till exempel:  

- PTFE -beläggningsdelar (för syrabeständig)  

- Hastelloy eller nickellegering (för kraftfulla kemikalier som klor)

4. Energieffektivitet och underhåll

- Oljetätningspump:  

- Låg initialkostnad    

- Regelbundna oljeförändringar krävs (varje 2 000 till 4 000 timme)

- Risken för oljeföroreningar genom känsliga processer  

- torr (oljefri) pump:  

- Hög initial investering    

- Inget underhåll krävs (ingen oljebyte)  

- Rekommenderas för rena processer (t.ex. läkemedel, mat)

Den huvudsakliga terminologin som behandlas i denna text är följande:

1. Vakuumtätningar - En vakuumtätning, fingervakuumtätningsteknologi och vakuummaterial är effektiva (tätningsanslutning).

2. Genom genomgående del (かんつうぶ)-Tillsammans med del, hänvisar i allmänhet till delar som passerar genom väggar eller partitioner och används ibland för att beskriva strukturer som liknar vakuum.

3. Furanzi - Fläns, vanligtvis används i vakuumsystemanslutningskomponenter, hårdvara relaterad till vakuum kan involvera denna term.

4. Vakuumkontakt - Vakuumkontakt, vakuumkontakt underluft och möjligheten att komma åt tillgång.

5. Isoleringspenetration - Förmåga att utföra under vakuumintrång.

Dessa ord är inte helt likvärdiga med "vakuumtillskott", men kan användas som tillnärmningar eller relaterade termer under vissa omständigheter. Vilket språk du ska använda beror på tekniska detaljer och branschnormer, så det rekommenderas att du hänvisar till relevant speciallitteratur eller konsulterar en expert för att säkerställa noggrannhet.

Uttalande: Artikeln/nyheterna/videon kommer från Internet eller, gjord av AI -programvaran. Vår webbplats trycker om i syfte att dela. Upphovsrätten till den omtryckta artikeln/nyheterna/videon tillhör den ursprungliga författaren eller det ursprungliga officiella kontot. Om det är någon intrång, vänligen informera oss i tid så kommer vi att verifiera och ta bort det.